Кремний монокристаллический в слитках. Технические условия
|
| Статус: |
действующий
|
| Английское название: |
Monocrystalline silicon in ingots. Specifications |
| Область приложения: |
Настоящий стандарт распространяется на слитки монокристаллического кремния, получаемые методом Чохральского и предназначенные для изготовления пластин-подложек, используемых в производстве эпитаксиальных структур и структур металл-диэлектрик-полупроводник |
| Дата введения: |
01.01.1983 |
| Дата публикации: |
01.04.2001 |
| Последнее измененение: |
24.03.2009 |
| Изменения: |
|
Изменение №1 к ГОСТ 19658-81
Изменение №2 к ГОСТ 19658-81
