Оборудование вакуумное. Соединения вакуумных трубопроводов. Установочные размеры
|
| Статус: |
утратил силу в РФ
|
| Английское название: |
Vacuum equipment. Connections of vacuum pipe-lines. Mounting dimensions |
| Область приложения: |
Настоящий стандарт распространяется на соединения вакуумных трубопроводов (колена, тройники, крестовины), применяемые в вакуумных системах технологического оборудования для производства изделий электронной техники, работающие в диапазоне давлений от 10 в ст. 5 до 10 в ст. минус 5 Па, и устанавливает присоединительные и установочные размеры соединений вакуумных трубопроводов с условными проходами от 10 до 650 мм ряда R5 |
|
Действовал
до:
01.09.2007
| Дата публикации: |
01.10.1984 |
| Последнее измененение: |
12.09.2008 |
