Установки для финишной очистки воды. Общие технические требования
|
| Статус: |
действующий
|
| Английское название: |
Installations for final water treatment. General technical requirement |
| Область приложения: |
Настоящий стандарт распространяется на установки финишной очистки воды, предназначенные для деионизации воды с последующей стерилизацией и очисткой от микрочастиц и микроорганизмов непосредственно на месте использования при производстве изделий микроэлектроники 4 степени интеграции |
| Дата введения: |
01.01.1984 |
| Дата публикации: |
01.10.2003 |
| Последнее измененение: |
12.09.2008 |
| Изменения: |
|
Изменение №1 к ГОСТ 25661-83
