Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные диффузионные. Методы испытаний
|
| Статус: |
действующий
|
| Английское название: |
Vacuum equipment. Diffusion vacuum pumps. Test methods |
| Область приложения: |
Настоящий стандарт распространяется на диффузионные вакуумные насосы с водяным охлаждением, применяемые в вакуумных системах технологического оборудования для производства изделий электронной техники, предназначенные для откачивания из герметичных объемов воздуха, газов и парогазовых смесей, предварительно очищенных от капельной влаги и механических загрязнений и неагрессивных к материалам конструкций |
| Дата введения: |
01.01.1984 |
| Дата публикации: |
01.06.1984 |
| Последнее измененение: |
16.04.2009 |
| Изменения: |
|
Изменение №2 к ГОСТ 25662-83
Изменение №1 к ГОСТ 25662-83
