Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Общие требования к методам анализа
|
| Статус: |
действующий
|
| Английское название: |
Semiconductor silicon, raw materials for its production and quartz. General requirements for methods of analysis |
| Область приложения: |
Настоящий стандарт устанавливает общие требования к методам анализа полупроводникового кремния, исходных продуктов для его получения ( технический кремний, четыреххлористый кремний, хлорсиланы, двуокись кремния) и кварца |
| Дата введения: |
01.01.1986 |
| Дата публикации: |
21.01.1985 |
| Последнее измененение: |
24.03.2009 |
