Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Метод определения примесей
|
| Статус: |
действующий
|
| Английское название: |
Semiconductor silicon, raw materials for its production and quartz. Method of impurities determination |
| Область приложения: |
Настоящий стандарт устанавливает химико-атомно-эмиссионный метод определения примесей в интервалах значений массовых долей в полупроводниковом кремнии, двуокиси кремния, кварце, четуреххлористом кремнии и трихлорсилане |
| Дата введения: |
01.01.1986 |
| Дата публикации: |
21.01.1985 |
| Последнее измененение: |
24.03.2009 |
| Изменения: |
|
Изменение №1 к ГОСТ 26239.1-84
