Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Методы определения фосфора
|
| Статус: |
действующий
|
| Английское название: |
Semiconductor selicon, raw materials for its production and quartz. Methods of phosphorus determination |
| Область приложения: |
Настоящий стандарт устанавливает экстракционно-фотометрический метод определения фосфора в техническом кремнии, экстракционно-колориметрический метод определения фосфора в трихлорсилане и тетрахлориде кремния и двуокиси кремния (синтетическом кварце); нейтронно-активационный метод определения фосфора в полупроводниковом кремнии |
| Дата введения: |
01.01.1986 |
| Дата публикации: |
21.01.1985 |
| Последнее измененение: |
24.03.2009 |
| Изменения: |
|
Изменение №1 к ГОСТ 26239.3-84
