Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота
|
| Статус: |
действующий
|
| Английское название: |
Semiconductor silicon. Method of oxygen, carbon and nitrogen determination |
| Область приложения: |
Настоящий стандарт устанавливает метод определения кислорода, углерода и азота в полупроводниковом кремнии с использованием активации ускоренными ионами и протонами |
| Дата введения: |
01.01.1986 |
| Дата публикации: |
21.01.1985 |
| Последнее измененение: |
24.03.2009 |
| Изменения: |
|
Изменение №1 к ГОСТ 26239.7-84
