Система показателей качества продукции. Полупроводниковые материалы. Номенклатура показателей
|
Статус: |
действующий
|
Английское название: |
Production quality system. Semiconductor materials. Indices nomenсlature |
Область приложения: |
Настоящий стандарт устанавливает номенклатуру основных показателей качества объемных монокристаллов полупроводниковых материалов, включаемых в ТЗ на НИР по определению перспектив развития этой группы продукции, государственные стандарты с перспективными требованиями, а также номенклатуру показателей качества, включаемых в разрабатываемые и перспективные стандарты на продукцию, ТЗ на ОКР, технические условия, карты технического уровня и качества продукции |
Дата введения: |
01.07.1981 |
Дата публикации: |
01.02.1985 |
Последнее измененение: |
16.01.2009 |
Изменения: |
|
Изменение №1 к ГОСТ 4.64-80