Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции
|
| Статус: |
действующий
|
| Английское название: |
Laser ellipsometric microscope ЛЭМ-2. Quality requirements of sertified products |
| Область приложения: |
Настоящий стандарт распространяется на лазерный эллипсометрический микроскоп ЛЭМ-2, предназначенный для определения эллипсометрических параметров поляризованного света, определяемых по углам поворота оптических элементов в момент погасания, что позволяет использовать прибор для измерения толщины и показателя преломления прозрачных диэлектрических покрытий на отражающих полированных поверхностях различных материалов и, в частности, на полупроводниковых пластинах, а также для контроля равномерности и однородности диэлектрических пленок по площади и определения наличия и толщины окисла в окнах, вытравленных в процессе изготовления полупроводниковых приборов |
| Дата введения: |
01.09.1973 |
| Дата публикации: |
04.10.1973 |
| Последнее измененение: |
16.04.2009 |
