Насос магниторазрядный диодный охлаждаемый типа НМДО-01-1 (НОРД-100) с блоком питания типа БП-150. Требования к качеству аттестованной продукции
|
| Статус: |
действующий
|
| Английское название: |
The mater cooled diode type sputter-ion pump НМДО-01-1 (НОРД-100) with the power supply БП-150. Quality requirements for certified products |
| Область приложения: |
Настоящий стандарт распространяется на магниторазрядные диодные охлаждаемые насосы типа НМДО-01-1 (НОРД-100) с блоком питания типа БП-150, предназначенные для безмасляной откачки в постах электровакуумных приборов, в печах вакуумного отжига и в ускорителях частиц |
| Дата введения: |
01.03.1970 |
| Дата публикации: |
17.04.1970 |
| Последнее измененение: |
24.03.2009 |
| Изменения: |
|
Изменение №1 к ГОСТ 5.413-70
