Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые измерительные. Методика поверки
|
Статус: |
действующий
|
Английское название: |
State system for ensuring the uniformity of measurements. Atomic-force scanning probe measuring microscopes. Methods for verification |
Область приложения: |
Настоящий стандарт распространяется на сканирующие зондовые атомно-силовые измерительные микроскопы, применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10 в ст. минус 9 до 10 в ст. минус 6 м, и устанавливает методику их первичной и периодических поверок с использованием рельефных мер по ГОСТ Р 8.628 и ГОСТ Р 8.629.
Межповерочный интервал микроскопа - один год |
Дата введения: |
01.02.2008 |
Дата публикации: |
16.07.2007 |
Последнее измененение: |
12.09.2008 |