Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы электронные растровые измерительные. Методика поверки
|
| Статус: |
действующий
|
| Английское название: |
State system for ensuring the uniformity of measurements. Scanning electron measuring microscopes. Methods for verification |
| Область приложения: |
Настоящий стандарт распространяется на измерительные растровые электронные микроскопы (РЭМ), применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10 в ст. минус 9 до 10 в ст минус 6 м, и устанавливает методику их первичной и периодических поверок с помощью рельефных мер по ГОСТ Р 8.628 и ГОСТ Р 8.629.
Межповерочный интервал РЭМ - 6 мес. |
| Дата введения: |
01.02.2008 |
| Дата публикации: |
16.07.2007 |
| Последнее измененение: |
12.09.2008 |
