Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы электронные растровые. Методика калибровки
|
| Статус: |
действующий
|
| Английское название: |
State system for ensuring the unifоrmity of measuremеnts. Scanning electron microscopes. Methods for calibration |
| Область приложения: |
Настоящий стандарт распространяется на растровые электронные микроскопы, применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10 в ст. минус 9 до 10 в ст. минус 6 м, и устанавливает методику их калибровки с помощью рельефных мер по ГОСТ Р 8.628 и ГОСТ Р 8.629 |
| Дата введения: |
01.08.2008 |
| Дата публикации: |
16.01.2008 |
| Последнее измененение: |
24.03.2009 |
