Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки
|
| Статус: |
действующий
|
| Английское название: |
State sysem for ensuring the uniformity of measurements. Radiometers of ultraviolet radiation measurements for photolithography technological processes testing. Verification methods |
| Область приложения: |
Настоящий стандарт распространяется на средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения - радиометры ультрафиолетового излучения, используемые в фотолитографии, и устанавливает методику их первичной и периодической поверок |
| Дата введения: |
01.01.2009 |
| Дата публикации: |
15.05.2008 |
| Последнее измененение: |
16.01.2009 |
