Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытаний
|
| Статус: |
действующий
|
| Английское название: |
Cleanrooms and associated controlled environments. Part 3. Test methods |
| Область приложения: |
Настоящий стандарт устанавливает метрологические характеристики и методы испытаний чистых помещений и чистых зон для определения класса чистоты. В стандарте приведены методы испытаний для двух типов чистых помещений и чистых зон (с однонаправленным и неоднонаправленным потоком воздуха) и для трех состояний чистого помещения (построенное, оснащенное, эксплуатируемое) |
| Дата введения: |
01.10.2008 |
| Дата публикации: |
06.06.2008 |
| Последнее измененение: |
16.10.2008 |
